Ngwongwo Pedgbọ okporo ígwè na-aga n'ihu

1. Usoro iji mepụta ihe mmetụta nrụgide, nke nwere:

Inye ihe na-enye semiteconductor, ebe mbụ interlayer oyinye, oyi akwa na-acha odo odo na nke abụọ interlater a na-etolite na semiconductor mkpụrụ.

Efere eletrik dị ala na interlayer dielectoc, electrode mbụ dị na otu akwa dị ka ala elektrọde dị ala.

Ijikọ n'ígwé;

Na-akpụ akwa a na-achụ aja dị ka nnukwu polar polata;

Na-akpụ akwa electrode n'elu akwa na mbụ interlayer dielectoc, oyigharị mbụ na oyi akwa;

Mgbe ha guzosịrị akwa ahụ na tupu ịkpụpụta efere dị elu, na oyi interging mbụ

Na-akpụ uzo uzo, ma juju uzo uzo ya na efere di elu ka ejikọtara ya na ntudo mbugharị mbụ; Ma ọ bụ,

Mgbe ha guzobere efere electrode, na-ejikọ grooves dị na efere electrode na oyi disccontion, nke

Na-akpụ akwa na-eduzi efere dị elu na akwa akpa interning mbụ na uzo njikọ;

Mgbe ị na-ejikọ efere dị elu na oyi njikọ ekwentị mbụ, weghara akwa mkpuchi iji mepụta oghere.

2

Usoro iji mepụta akwa a na-achụ aja na interlayer dielecric oyi akwa nwere usoro ndị a:

Debe akwa ihe na-esure akwa na oyi interlayer dielectocric;

Pattalia igbo iwe ihe eji eme ihe iji gboo akwa a willchu.

3. Usoro maka ịmepụta ihe mmetụta nrụgide dị ka ị ga - esi kwuo 2, a na - eji ihe osise na ihe osise.

A na-eji ihe eji chu ihe eme ihe site na usoro.

4.

Ihe a bụ Amorphous Carbon ma ọ bụ German.

5. Usoro maka ịmepụta ihe mmetụta nrụgide dị ka ị ga-esi kwuo 4, ebe ịchụ àjà

Ihe a bụ amorphose carbon;

Etching gas na-eji usoro a na-achụ uku na-achụ uku gụnyere o2, cos, n2 na ar;

The parames na usoro etching oyi akwa bụ: Radiodị O2 bụ 18 SCCM ~ 22 SCCM, ọnụego CO bụ 10%.

Ọnụego ọkwa dị elu sitere na 90 SCCM ruo 110 SCCM, ọnụego N2 Scanges site na 90 SCCM 110 SCCM, na ọnụego a.

Uzo a bu 90 SCCM ~ 110 SCCM, nrụgide a bụ 90 mtor ~ 110 mtor, na ike ya

540W ~ 660W.