Ọdabara na Passat mmanụ ụgbọala nkịtị ụgbọ okporo ígwè ihe mmetụta 06E906051K

1. Usoro maka ịmepụta ihe mmetụta nrụgide, gụnyere:

Na-enye ihe nkedo nke semiconductor, ebe nke mbụ interlayer dielectric oyi akwa, nke mbụ interlayer dielectric oyi akwa na nke abụọ interlayer dielectric oyi akwa na-guzobere na semiconductor substrate.

Efere eletrọd dị ala na oyi akwa interlayer dielectric nke mbụ, electrode mbụ jikọrọ ọnụ dị n'otu oyi akwa dị ka efere electrode nke ala wee kewaa iche.

Njikọta n'ígwé;

Ịmepụta oyi akwa ịchụ aja n'elu efere pola dị ala;

Ịmepụta efere electrode dị elu na nke mbụ interlayer dielectric oyi akwa, nke mbụ interconnection oyi akwa na àjà;

Mgbe emechara oyi akwa nke ịchụ àjà na tupu ịmepụta efere elu, na nke mbụ njikọ njikọ

Akpụ a njikọ uzo, na-ejuputa njikọ uzo na elu efere ka electric jikọọ na mbụ interconnection oyi akwa; Ma ọ bụ,

Mgbe emechara efere electrode nke elu, a na-emepụta oghere na-ejikọta na efere electrode dị elu na nke mbụ njikọ njikọ, nke.

Akpụ a conductive oyi akwa jikọọ elu electrode efere na mbụ interconnection oyi akwa na njikọ uzo;

Mgbe ejiri eletrik jikọọ efere elu na oyi akwa njikọ njikọ mbụ, wepụ ihe mkpuchi ahụ iji mepụta oghere.

2. Usoro maka ịmepụta ihe mmetụta nrụgide dị ka nkwupụta 1 si kwuo, nke dị na oyi akwa mbụ

Usoro maka imepụta oyi akwa ịchụ aja na oyi akwa interlayer dielectric nwere usoro ndị a:

Ịtụkwasị oyi akwa ihe eji achụ àjà na nke mbụ interlayer dielectric oyi akwa;

Ịhazi oyi akwa ihe eji eme ihe iji mepụta oyi akwa ịchụ aja.

3. Usoro maka ịmepụta ihe mmetụta nrụgide dị ka nkwupụta 2 si kwuo, ebe a na-eji fotolithography na ihe osise.

A na-ahazi oyi akwa ihe eji achụ àjà site na usoro etching.

4. Usoro maka ịmepụta ihe mmetụta nrụgide dị ka nkwupụta 3 si kwuo, ebe oyi akwa ịchụàjà

Ihe bụ amorphous carbon ma ọ bụ germanium.

5. Usoro maka ịmepụta ihe mmetụta nrụgide dị ka nkwupụta 4 si kwuo, ebe oyi akwa ịchụàjà

Ihe onwunwe bụ carbon amorphous;

Etching gas na-eji na usoro nke etching oyi akwa ihe eji achụ àjà gụnyere O2, CO, N2 na Ar;

The parameters na usoro nke etching oyi akwa ihe ịchụàjà bụ: eruba nso nke O2 bụ 18 SCCM ~ 22 SCCM, na eruba ọnụego nke CO bụ 10%.

Ọnụ ọgụgụ na-agba ọsọ sitere na 90 SCCM ruo 110 SCCM, ọnụọgụ N2 sitere na 90 SCCM ruo 110 SCCM, na ọnụ ọgụgụ nke Ar.

The nso bụ 90 SCCM ~ 110 SCCM, nrụgide nso bụ 90 mtor ~ 110 mtor, na ele mmadụ anya n'ihu ike bụ.

540w ~ 660w.