Ihe mmetụta nrụgide bụ otu n'ime ihe mmetụta a na-ahụkarị. Ihe mmetụta nrụgide ọdịnala na-abụkarị ngwaọrụ ihe eji arụ ọrụ, na nrụrụ akụkụ nke na-agbanwe agbanwe na-egosi nrụgide. Otú ọ dị, n'ihi nha ha na ibu ha, ha enweghị ike ịmepụta ọkụ eletrik.

Mmepe nke teknụzụ semiconductor emewokwa ka mpụta nke ihe mmetụta nrụgide semiconductor. A na-eji ya mara obere nha, ịdị arọ dị arọ, nkenke dị elu na arụmọrụ okpomọkụ dị mma. Karịsịa na mmepe nke teknụzụ MEMS, ihe mmetụta semiconductor na-etolite na ntụziaka nke miniaturization, obere ike oriri na ntụkwasị obi dị elu.

Ọrụ nke mmetụta nrụgide

1. A na-eji ya kpọmkwem iji tụọ nrụgide dị iche iche: nrụgide ikuku, nrụgide hydraulic, nrụgide hydraulic (gụnyere nrụgide hydraulic), ọbara mgbali elu dị iche iche na ndụ kwa ụbọchị, wdg;

2. A na-eji ihe mmetụta nrụgide na ụgbọ ala, ụfọdụ ọgba tum tum mara mma na ihe fọrọ nke nta ka ọ bụrụ engines combustion niile n'ime;

3. Liquid larịị: The ubi akụrụngwa eji dị iche iche mmiri mmiri nha nha bụ tumadi mmetụta mmetụta;

4. Ọtụtụ akara ngosi eletrọnịkị na akara nrịba ụgbọ ala na-esite na sensọ nrụgide.

A na-ejikarị ihe mmetụta nrụgide na-ejikwa ma nyochaa ụfọdụ ngwa. N'ime ụlọ ọrụ ụgbọ ala, ihe mmetụta nrụgide MEMS na-abụkarị iji tụọ nrụgide mmanụ, nrụgide taya, nrụgide akpa ikuku, na nrụgide pipeline. N'ọhịa biomedical, ihe mmetụta nrụgide MEMS na-ejikarị eme nchọpụta na usoro nchọpụta; N'ime ụlọ ọrụ ikuku, ihe mmetụta nrụgide MEMS na-ejikarị achịkwa ụgbọ elu na ọnọdụ ụgbọ elu;