Kwesịrị ekwesị maka ihe mmetụta nrụgide mmanụ Hitachi KM11 EX200-2-3-5

Teknụzụ nrụgide anọ nke ihe mmetụta nrụgide

1. Capacitive

A na-akwadokarị sensọ nrụgide capacitive site na ọnụ ọgụgụ buru ibu nke ngwa ọkachamara OEM. Ịchọpụta mgbanwe ike n'etiti elu abụọ na-enyere sensọ ndị a aka ịhụ nrụgide dị ala na ọkwa oghere. N'ime nhazi ihe mmetụta anyị na-ahụkarị, ụlọ kọmpat nwere ihe abụọ nwere oghere chiri anya, ihe yiri ya na igwe eletrik dịpụrụ adịpụ, otu n'ime ha bụ n'ezie diaphragm nke nwere ike gbadaa ntakịrị n'okpuru nrụgide. A na-agbanye elu (ma ọ bụ efere) ndị a kwụsiri ike ka e wee na-ehulata ọgbakọ ahụ ka ọ gbanwee ọdịiche dị n'etiti ha (n'ezie na-eme capacitor na-agbanwe agbanwe). A na-achọpụta mgbanwe a na-esi na ya pụta site na sekit comparator linear nwere mmetụta (ma ọ bụ ASIC), nke na-amụba ma na-ewepụta akara ngosi ọkwa dị elu.

2.CVD ụdị

Usoro nrụpụta kemịkalụ (ma ọ bụ "CVD") na-ejikọta polysilicon oyi akwa na diaphragm igwe anaghị agba nchara na ọkwa molecular, si otú a na-emepụta ihe mmetụta na arụmọrụ ogologo ogologo oge. A na-eji usoro nrụpụta semiconductor nhazi ihe na-emekarị iji mepụta àkwà mmiri nlele polysilicon nwere ọmarịcha arụmọrụ na ọnụ ahịa ezi uche dị na ya. Ọdịdị CVD nwere arụmọrụ ọnụ ahịa dị mma yana ọ bụ ihe mmetụta kachasị ewu ewu na ngwa OEM.

3. Ụdị ihe nkiri na-agbasa

Ndobe ihe nkiri na-agbasa (ma ọ bụ "ihe nkiri") nwere ike ịmepụta ihe mmetụta nwere oke ọnụọgụ jikọtara ọnụ, hysteresis na nkwughachi. Izi ezi nwere ike ịdị elu dị ka 0.08% nke ọnụ ọgụgụ zuru oke, ebe ịnyagharị ogologo oge dị ala dị ka 0.06% nke ọnụ ọgụgụ zuru oke kwa afọ. Ịrụ ọrụ pụrụ iche nke ngwá ọrụ ndị dị mkpa - ihe mmetụta ihe nkiri anyị na-efesa dị mkpa bụ akụ dị n'ime ụlọ ọrụ na-ahụ maka nrụgide.

4.MMS ụdị

Ihe mmetụta ndị a na-eji silicon micro-machined diaphragm (MMS) iji chọpụta mgbanwe nrụgide. The silicon diaphragm dịpụrụ adịpụ site na-ajụ site mmanụ jupụtara 316SS, na ha na-emeghachi omume na usoro na usoro mmiri mgbali. Ihe mmetụta MMS na-anakwere teknụzụ nrụpụta semiconductor nkịtị, nke nwere ike nweta nguzogide voltaji dị elu, ịdị mma linearity, ọmarịcha arụmọrụ ọkụ ọkụ yana nkwụsi ike na ngwugwu ihe mmetụta kọmpat.